Vyhledávat v databázi titulů je možné dle ISBN, ISSN, EAN, č. ČNB, OCLC či vlastního identifikátoru. Vyhledávat lze i v databázi autorů dle id autority či jména.

Projekt ObalkyKnih.cz sdružuje různé zdroje informací o knížkách do jedné, snadno použitelné webové služby. Naše databáze v tuto chvíli obsahuje 3150393 obálek a 950589 obsahů českých a zahraničních publikací. Naše API využívá většina knihoven v ČR.

Registrovat »    Zapomenuté heslo?

CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet: Degradation Behavior and Damage Mechanisms (Microtechnology and MEMS)

Rok: 2005
ISBN: 9783540226802
OKCZID: 110284938

Citace (dle ČSN ISO 690):
LI, Flora M. CCD image sensors in deep-ultraviolet: degradation behavior and demage mechanisms. Berlin: Springer, c2005. xi, 231 s. Microtechnology and MEMS.


Anotace

In order to facilitate the inspection of deep sub-micron features in integrated circuits, a new generation of semiconductor inspection systems is being pushed to new limits to image at ever shorter wavelengths - using deep-UV (DUV) sensitive cameras. However, conventional CCD cameras have very poor responsivity in the DUV and their stability upon prolonged DUV exposure is a relevant concern. This book investigates the causes of CCD degradation and the damage mechanisms due to DUV exposure, as well as reporting new results for device performance at these wavelengths.


Dostupné zdroje

Přidat komentář a hodnocení