Vyhledávat v databázi titulů je možné dle ISBN, ISSN, EAN, č. ČNB, OCLC či vlastního identifikátoru. Vyhledávat lze i v databázi autorů dle id autority či jména.

Projekt ObalkyKnih.cz sdružuje různé zdroje informací o knížkách do jedné, snadno použitelné webové služby. Naše databáze v tuto chvíli obsahuje 2904729 obálek a 876161 obsahů českých a zahraničních publikací. Naše API využívá většina knihoven v ČR.

Registrovat »    Zapomenuté heslo?

Spectroscopic ellipsometry : principles and applications



Autor: Hiroyuki Fujiwara
Rok: 2007
ISBN: 9780470016084
OCLC Number: (OCoLC)71507562
OKCZID: 110181018

Citace (dle ČSN ISO 690):
FUJIWARA, Hiroyuki. Spectroscopic ellipsometry: principles and applications. Chichester: John Wiley, c2007. xviii, 369 s.


Anotace

 

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.


Dostupné zdroje

Amazon


Přidat komentář a hodnocení

Od: (127.0.0...)